| 設備名稱 | 小型滑動PECVD管式爐系統—OTF-1200X-50S-PE-SL （2019.12.23—科晶實驗室審核） | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請提示 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產品特點 | ? 射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度； ? 可通過爐體滑動達到快速升溫和降溫； ? 可通過射頻電源的頻率來控制薄膜的應力； ? 可通過工藝調節來控制化學計量； ? 可沉積各種材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 相關視頻 | 展示視頻 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 加熱爐參數 | ? 溫度：1100℃（<> ? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統，控溫精度：±1℃； ? 輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW； ? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命（點擊文字了解涂層的詳細參數）。 更多參數請聯系科晶銷售部 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 射頻電源 | ? 科晶公司現有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。
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| 真空系統 | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達10-2Torr。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 供氣系統 | ? 四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出； ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產品尺寸和重量 | ? 尺寸：1500mm L′600mm W′1200mm H ? 凈重：160 kg ? 運輸重量：220 kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 認證 | ? CE認證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證 ? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
| 承諾 | ? 一年質保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） |
北京壯仕科技有限公司是一家代理、經銷國內外分析儀器、環保儀器、生命科學儀器、電化學儀器設備及耗材、實驗室常規設備、生化試劑耗材以及玻璃儀器的專業公司。本著“以質量為依托，靠服務求生存”的宗旨，進行科學管理，不僅為客戶提供高品質的分析儀器，更致力于為所有客戶提供完整的解決方案。從度身定制產品，專業技術支持，到*的售后服務，令所有的客戶稱心滿意。
公司人員均是北京各大高校的畢業生，立足于高校，利用自身日常使用儀器的一些知識為更多用戶提供優質的服務。
公司在電化學領域，依托與北京理工大學環境能源中心，不斷加強與清華大學、北京科技大學、北京化工大學、北京大學、物理所、哈爾濱工業大學、鼎能開源、有色金屬研究總院、機電研究院等高校及研究所的合作。
通過與電化學領域的廠家，包括上海辰華(CHI系列電化學產品)、科晶集團(MTI鋰離子電池實驗室加工設備、管式爐、箱式爐、磨拋設備)、武漢藍電(LAND電池測試設備)、PINE旋轉圓盤電極、Arbin電化學測試系統等的合作，不斷為廣大電化學研究者提供面、穎的研究設備和質的服務。
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小型滑動PECVD管式爐系統OTF-1200X-50S-PE-SL 產品信息
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