技術參數 規格型號
SR1000
SR2000
測量范圍
X軸
100~220mm
Z軸
320~620mm
Z1軸
±420μm/65536:1
±620μm/262144:1
粗糙度參數
Z1線性精度
≤±（7mm+3.5%）
≤±（5mm+2.8%）
重復性
1δ≤2nm
1δ≤1nm
截止波長
0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm
評定長度
λcX2、3、4、5、6、7
殘值噪聲
≤0.012μm
≤0.005μm
驅動速度
X軸
0.1~10mm/s
0.05~15mm/s
Z軸
0.5~10mm/s
0.2~15mm/s
測量功能
粗糙度
粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波紋度參數：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
原始輪廓參數：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
規格型號
SR1000
SR2000
測量范圍
X軸
100~220mm
Z軸
320~620mm
Z1軸
±420μm/65536:1
±620μm/262144:1
粗糙度參數
Z1線性精度
≤±（7mm+3.5%）
≤±（5mm+2.8%）
重復性
1δ≤2nm
1δ≤1nm
截止波長
0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm
評定長度
λcX2、3、4、5、6、7
殘值噪聲
≤0.012μm
≤0.005μm
驅動速度
X軸
0.1~10mm/s
0.05~15mm/s
Z軸
0.5~10mm/s
0.2~15mm/s
測量功能
粗糙度
粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波紋度參數：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
原始輪廓參數：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
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