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TTR200N，PTR200N LoadLock系列真空變送器

Name: TTR200N，PTR200N LoadLock系列真空變送器
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真空壓力測(cè)量和原理隨著真空應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，對(duì)真空變送器量程的要求達(dá)到2000毫巴至10-12毫巴，測(cè)量范圍達(dá)16個(gè)數(shù)量級(jí)。由于物理特性的原因，沒(méi)有一個(gè)單獨(dú)的真空計(jì)能夠在整個(gè)壓力范圍內(nèi)進(jìn)行定量測(cè)量。因此，萊寶真空提供一系列采用不同設(shè)計(jì)的具有各自測(cè)量范圍（測(cè)量原理應(yīng)用直接壓力測(cè)量和間接壓力測(cè)量）的真空計(jì)。nbsp;直接（）式壓力測(cè)量與被測(cè)量的氣體類(lèi)型無(wú)關(guān)。利用機(jī)械方法，通過(guò)作用于薄膜表面的壓力進(jìn)行......

詳細(xì)介紹

真空壓力測(cè)量和原理

隨著真空應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，對(duì)真空變送器量程的要求達(dá)到2000毫巴至10^-12毫巴，測(cè)量范圍達(dá)16個(gè)數(shù)量級(jí)。

由于物理特性的原因，沒(méi)有一個(gè)單獨(dú)的真空計(jì)能夠在整個(gè)壓力范圍內(nèi)進(jìn)行定量測(cè)量。因此，萊寶真空提供一系列采用不同設(shè)計(jì)的具有各自測(cè)量范圍（測(cè)量原理應(yīng)用直接壓力測(cè)量和間接壓力測(cè)量）的真空計(jì)。

直接（）式壓力測(cè)量與被測(cè)量的氣體類(lèi)型無(wú)關(guān)。利用機(jī)械方法，通過(guò)作用于薄膜表面的壓力進(jìn)行測(cè)量。

間接壓力測(cè)量通過(guò)測(cè)量氣體也壓力有關(guān)的性質(zhì)（例如熱導(dǎo)率，電離概率）進(jìn)行間接測(cè)量的，因此間接壓力測(cè)量的結(jié)果取決于具體的氣體類(lèi)型。測(cè)量讀數(shù)是以空氣或氮?dú)鉃闇y(cè)量氣體時(shí)的讀數(shù)，對(duì)于其他氣體，可利用修正因數(shù)修正測(cè)量讀數(shù)。

萊寶真空變送器控制簡(jiǎn)單，極易與系統(tǒng)集成。

萊寶真空計(jì)的優(yōu)勢(shì)：

可靠性高

操作簡(jiǎn)單

測(cè)量結(jié)果重復(fù)性好

持續(xù)監(jiān)測(cè)若干測(cè)量地點(diǎn)

安裝簡(jiǎn)單并且節(jié)省成本和空間

測(cè)量地點(diǎn)和加工站之間的傳輸距離變長(zhǎng)（可達(dá)100米）

通過(guò)數(shù)字/模擬接口將數(shù)據(jù)傳輸至PLC/計(jì)算機(jī)

符合電磁兼容性（EMC）要求

符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)程（CE,UL,RoHS,WEEE等）

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TTR200N和PTR200N將多種測(cè)量原理復(fù)合到一個(gè)真空計(jì)，非常適合進(jìn)出樣室應(yīng)用。

優(yōu)勢(shì)

同種測(cè)量真空和相對(duì)真空，非常適合進(jìn)樣室控制

相對(duì)真空（以實(shí)時(shí)大氣壓為零點(diǎn)），環(huán)境大氣壓變化影響。

相對(duì)真空測(cè)量精確，系統(tǒng)控制不受大氣壓變化影響

縮短進(jìn)樣時(shí)間，提高工藝效率

測(cè)量原理

多種測(cè)量原理復(fù)合

量程范圍

TTR 200: 5.10^-5mbar到1500mbar

PTR200：1.10^-8mbar到1500mbar

50mbar到1300mbar測(cè)量結(jié)果與其他種類(lèi)無(wú)關(guān)

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