ET-R101FS型激光塵埃粒子計數器（在線）

品牌：etiedt奕泰凈科

一、概述：

ET-R101FS型激光塵埃粒子計數器,是蘇州奕泰環境科技有限公司在線監測系統的產品之一。檢測最小粒徑檔可達0.1μm,可檢測ISO7-ISO1的潔凈環境,采樣流量2.83L/min,專為半導體行業高精度潔凈環境檢測設計,突破傳統精度局限，精準捕捉光刻膠揮發,設備磨損產生的亞微米污染顆粒,滿足納米制程對ISO1級潔凈度的嚴苛要求。儀器具有檢測精度高,人機界面友好,功能豐富,操作簡單。

本產品可廣泛應用于半導體、電子、光學、新能源、精密機械，化學、醫藥衛生、生物制品、航空航天，等部門。

二、特點：

◆304不銹鋼殼體（可定制航空鋁材）

◆5.0超大高清彩色觸控屏，操作簡單

◆最小檢測粒徑0.1μm，八通道

◆約500萬條數據存儲+USB數據導出+云端互聯

◆支持SCADA/MES系統對接

◆ESD安全智能電源管理系統

◆ISO 14644-1潔凈度等級報告自動生成

◆主動流量控制PID自動調節

◆防爆需求定制，防爆僅針對于外殼防爆，具體根據客戶需求進行一對一定制。

三、性能：

◆采樣流量：2.83L/min ±5% （0.1 CFM）
◆粒徑分布誤差；國優±20%FS
◆示值濃度誤差；國優±20%FS
◆自凈時間；國優≤8min
◆重復性相對誤差；國優≤8%FS
◆采樣濃度，35000顆/升
◆至少5，000，000條采樣數據存儲

四、應用：

半導體潔凈廠房檢測；

晶圓封裝產品線監測；

光刻產線監測；

精密光學；

新能源；

航空航天；

五、技術參數：

六、etiedt奕泰凈科：

蘇州奕泰環境科技有限公司國產潔凈環境檢測儀器智能化創新應用專業前沿企業；

進口儀器國產化替代品牌新勢力；

國內凈化品牌服務商，凈化優質服務商；

潔凈微環境智能監測儀器全套解決方案專業企業

半導體潔凈環境檢測，奕泰凈科E系列激光塵埃粒子計數器檢測等級可滿足十級至三十萬級環境檢測；

在線0.1μm塵埃粒子計數器在線監測系統；

在線0.1μm塵埃粒子計數器遠程環境在線監測系統